所謂半導體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運行中風速越低，過濾器的使用效果越好。

與擴散的效果類似，當過濾材料帶靜電時(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大。改變風速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進行空調系統(tǒng)設計時就應該盡可能地減少通過每只過濾器的風量。

無塵室管理是要保障保障潔凈。保障一個自然環(huán)境長期性潔凈，應該許多要求和方法保持，假如有些人不實行這種要求和方法，潔凈將漸漸地變有塵。你需要管理的便是任何人對這種要求和方法實實在在的實行。要不然工作中沒法運作，商品沒法生產(chǎn)制造。保障一個自然環(huán)境長期性潔凈，很定應該許多要求和方法來保持，假如有些人不實行這種要求和方法，潔凈將漸漸地變有塵。你需要管理的便是任何人對這種要求和方法實實在在的實行。

除了防止微塵進入，無塵室也要設置凈化空調系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設備等各類設備設施，來確保無塵室內的空氣潔凈度級別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運行中，維護也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風機軸承的運行是否處于正常狀態(tài)等。每一項都影響了系統(tǒng)的運行，因此不可遺漏。