所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗表明，對于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9)，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。

與擴散的效果類似，當(dāng)過濾材料帶靜電時(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計時就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。

進(jìn)入無塵車間須知

(1)進(jìn)入無塵車間應(yīng)穿干凈鞋具，不得帶油漬、污泥入內(nèi);

(2)室內(nèi)不得吸煙、飲食和飲水;

(3)焊接、切割、鑿洞等有塵作業(yè)必須加以控制，防止碎屑大范圍擴散，每天工作結(jié)束時應(yīng)將垃圾搬出室外倒入規(guī)定處;

(4)施工材料堆放整齊;

(5)室內(nèi)嚴(yán)禁大小便;