無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無(wú)塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無(wú)污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競(jìng)爭(zhēng)力，各個(gè)行業(yè)也開(kāi)始追求無(wú)塵室的質(zhì)量。

除了防止微塵進(jìn)入，無(wú)塵室也要設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)施，來(lái)確保無(wú)塵室內(nèi)的空氣潔凈度級(jí)別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運(yùn)行中，維護(hù)也是必不可少的。比如，空氣過(guò)濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機(jī)軸承的運(yùn)行是否處于正常狀態(tài)等。每一項(xiàng)都影響了系統(tǒng)的運(yùn)行，因此不可遺漏。

無(wú)塵車間是指在封閉空間范圍內(nèi)將有害空氣、、微粒子等污染物排出，并將室內(nèi)溫度、室內(nèi)壓力、氣流速度等控制在某一范圍內(nèi)。無(wú)塵車間的潔凈程度高，空氣經(jīng)過(guò)多重凈化，溫度環(huán)境適合工人工作，無(wú)塵車間內(nèi)如果沒(méi)有輻射物，沒(méi)有油漆、白電油等釋放有害氣體的物品，而且送風(fēng)排風(fēng)有效，設(shè)備管理得當(dāng)，那么無(wú)塵車間對(duì)身體一般沒(méi)有危害。

控制粉塵：建造電子無(wú)塵車間需要小化粉塵產(chǎn)生和積累的可能性。確保工作表面和設(shè)備是光滑、易清潔的，并采取措施減少粉塵揚(yáng)塵，如使用濕拖抹布、吸塵器等。

靜電消除：靜電是電子元件的一個(gè)主要問(wèn)題，因此必須采取措施消除靜電。使用防靜電地板和防靜電工作臺(tái)，并提供適當(dāng)?shù)撵o電消除設(shè)備，如離子風(fēng)槍、靜電消除器等。