一般生產(chǎn)車間一般以自身的加工工藝規(guī)定為標(biāo)準(zhǔn)，可是無塵室管理就顯著繁雜很多。依據(jù)自然環(huán)境清潔水平，按時(shí)拆換初、中效過濾器空氣過濾網(wǎng)，中效過濾器拆換時(shí)間隔一般為3-6個(gè)月，新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)口的中效過濾器拆換清理間隔時(shí)間為30天上下。按時(shí)(3~6個(gè)月)檢驗(yàn)各凈化室的工作壓力，一般潔凈區(qū)正壓力應(yīng)超過10pa，不然務(wù)必查驗(yàn)初效、中效過濾器是不是阻塞，拆換、查驗(yàn)送排煙風(fēng)機(jī)是不是運(yùn)行正常。

無塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競爭力，各個(gè)行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。

無塵車間是指在封閉空間范圍內(nèi)將有害空氣、、微粒子等污染物排出，并將室內(nèi)溫度、室內(nèi)壓力、氣流速度等控制在某一范圍內(nèi)。無塵車間的潔凈程度高，空氣經(jīng)過多重凈化，溫度環(huán)境適合工人工作，無塵車間內(nèi)如果沒有輻射物，沒有油漆、白電油等釋放有害氣體的物品，而且送風(fēng)排風(fēng)有效，設(shè)備管理得當(dāng)，那么無塵車間對身體一般沒有危害。

建造一個(gè)合格的電子無塵車間需要考慮多個(gè)因素，包括空氣過濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設(shè)備和工作流程?？諝膺^濾：安裝的空氣過濾系統(tǒng)是建造無塵車間的關(guān)鍵。使用HEPA（顆?？諝猓┻^濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進(jìn)入車間。