無塵潔凈車間,是指無塵車間,美國國家航空航天局( NASA )飛往太陽系天體的太空行動(dòng)要能夠維持生命,或者可能要維持處于基本進(jìn)化狀態(tài)的生命,對(duì)于太空船表面上的孢子數(shù)有嚴(yán)格的限制要求。
1、進(jìn)入潔凈室之前,預(yù)先清潔儀器、人員以及零件;
2、用可控的多級(jí)壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;
3、HEPA過濾;
4、增強(qiáng)工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;
5、保護(hù)性外衣;
6、清潔;
7、雙門配置將相鄰的空間分開,包括運(yùn)送和接收區(qū)域。
在將關(guān)鍵空間設(shè)計(jì)為分級(jí)的潔凈室是合理的。
污染物微粒聚集在組件不適當(dāng)?shù)奈恢蒙峡赡軙?huì)損害其功能或者使其徹底報(bào)廢。柴油噴射技術(shù)就是一個(gè)很好的例子。從1996年開始,在五年時(shí)間里這項(xiàng)技術(shù)性能迅速提高,結(jié)果是噴射壓力越來越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上,燃料通過直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產(chǎn)這類系統(tǒng)時(shí)只是保證不同的組件高度清潔是不夠的,組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進(jìn)行。
潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對(duì)環(huán)境的要求,促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過,在無潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。