1、進入潔凈室之前，預先清潔儀器、人員以及零件;

2、用可控的多級壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;

3、HEPA過濾;

4、增強工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;

5、保護性外衣;

6、清潔;

7、雙門配置將相鄰的空間分開，包括運送和接收區(qū)域。

在將關鍵空間設計為分級的潔凈室是合理的。

根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū)；氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風口排走。

一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室，尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言，其負荷特點是：由于排風量大造成新風量大，故新風處理所需冷量消耗大；送風量大，輸送動力消耗大，風機管道溫升高；生產(chǎn)設備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此，凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應從減少新風量（減少排風量）；控制送風量（合理確定換氣次數(shù)）；充分利用回風量；選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設備和可變風量的風機等入手。

在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起，把潔凈度要求高的工序設置在上風側(cè)，把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外，若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。