在制造環(huán)境中,人們所關注的微粒尺寸一般都比較大,它們不會像煙霧那樣散開,而會掉到組件的表面上,所以與在半導體潔凈室中的空氣控制方案完全不同。另外,人們關注的范圍也越來越窄,需要控制的污染物的尺寸的直徑在80至120μm之間,小的在40至60μm之間,例如金屬、類污染物。這些用戶的目標與常規(guī)潔凈室用戶的沒有什么兩樣:防止產(chǎn)品出現(xiàn)用肉眼看得到的缺陷和功能性缺陷。
非單向流潔凈室:以前常稱為亂流型潔凈室,室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點:終端過濾器(或亞)盡量接近潔凈室,它可以就是送風口或直接連送風口,也可以接到房間的送風靜壓箱上;回風口均設在潔凈室的下部,目的是避免出現(xiàn)“揚灰”現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級的潔凈室中。
潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。
在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風側,把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外,若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。