還有學(xué)者采用萃取法對廢液晶屏中銦錫等進(jìn)行分離和回收,僅停留在試驗室階段,未能實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。火法類主要的提取方式為氫氣還原廢靶粉得到銦錫合金,合金再經(jīng)真空蒸餾分離得到粗銦和粗錫,該方法同樣存在銦錫分離不徹底的問題,粗錫中含銦高達(dá)1%以上,銦直收率﹤98%。
火濕法聯(lián)合類的主要工藝為以氫氣還原得到銦錫合金,合金再通過精細(xì)化的電解精煉進(jìn)行銦錫的分離等;該技術(shù)的缺點是錫主要存在于陽極泥中,銦電解過程中的陽極殘級率高,銦的回收率﹤98%。
ITO(氧化銦錫)靶材是濺射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一種,在顯示靶材中占比將近50%。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(jié)(1600度,通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。
全球銦資源的分布也極不平衡,我國是世界上銦資源豐富的國家,已探明儲量占比達(dá)72.7%。同時,受進(jìn)口靶材免稅政策即將到期的影響,未來進(jìn)口靶材的成本有可能會大大增加,從而使國產(chǎn)ITO靶材供應(yīng)成本優(yōu)勢更加顯著。