國內外關于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術的相關研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

采用蒸餾法進行銦錫的分離及資源化試驗，在油浴溫度132 ℃左右，蒸餾5 h左右，可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率；本試驗工藝可得到99.97%純度的金屬銦產品的同時，還可繼續(xù)生產高品質的副產品五水氯化錫。蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時實現了清潔生產。

ITO靶材可應用于以下領域：（1）平板顯示器（FPD）產業(yè)，如薄膜晶體管顯示器（TFT-LCD）、液晶顯示器（LCD）、高觸摸屏（TouchPanel）、等離子管顯示器（PDP）、有機電致發(fā)光顯示（OLED）等；（2）光伏產業(yè)，如薄膜太陽能電池；功能性玻璃，如紅外線反射玻璃、抗紫外線玻璃如幕墻玻璃、飛機、汽車上的防霧擋風玻璃、光罩和玻璃型磁盤等。其中，平板顯示器及太陽能電池是其主要應用領域。

目前中國ITO靶材供應超一半左右依賴進口。本土廠商生產的ITO靶材主要供應中低端市場，僅占國內市場30%的份額；而高端TFT-LCD、觸摸屏用ITO靶材幾乎全部從日本、韓國進口，占據了70%的市場份額。