國內(nèi)外關于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術的相關研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

對ITO廢靶材中銦錫進行資源化的關鍵是要綜合考量銦錫的分離率、直收率以及產(chǎn)品和副產(chǎn)品的品質(zhì)等經(jīng)濟技術指標。上述幾種主流的從ITO廢靶中綜合回收銦錫的工藝中有一個共性的問題，那就是銦錫的分離不夠徹底，銦的回收率在97%～98%，進一步提升銦收率的空間較小，產(chǎn)生的錫渣或粗錫中含銦較高，作為錫原料或產(chǎn)品出售時會造成銦的損失；所以，探尋一種從ITO廢靶材中充分、徹底分離并回收銦錫的新方法顯得尤為重要。

采用蒸餾法進行銦錫的分離及資源化試驗，在油浴溫度132 ℃左右，蒸餾5 h左右，可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率；本試驗工藝可得到99.97%純度的金屬銦產(chǎn)品的同時，還可繼續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)的副產(chǎn)品五水氯化錫。蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時實現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。

ITO靶材有中低端和高端之分：中低端ITO靶材有玻璃鍍膜靶材、發(fā)熱膜和熱反射膜靶材，包括汽車的顯示屏、一些儀器儀表的顯示。高端ITO靶材主要用于顯示器薄膜靶材、集成電路薄膜靶材以及磁記錄和光記錄膜靶材，尤其用于大面積、大規(guī)格的LED、OLED等領域，具備高密度、高純度、高均勻性等特點。