“純水是一種無機化合物，化學式為H2O，純水具有一定結構的液體，雖然純水沒有剛性，但純水比氣態(tài)水分子的排列有規(guī)則得多。在液態(tài)水中，水的分子并不是以單個分子形式存在，而是有若干個分子以氫鍵締合形成水分子簇( H2O)，因此水分子的取向和運動都將受到周圍其他水分子的明顯影響。

純水指的是不含雜質的H2O。從學術角度講，純水又名高純水，是指化學純度的水，其主要應用在生物、 化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質含量低達到"微克/升"級。在純水的制作中，水質標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術的復雜性和影響產(chǎn)品質量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質標準。隨著電子級水標準的不斷修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制純水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。

純水也是指經(jīng)過純水機(RO機)過濾的水。

純水是指水中鹽類(主要是溶于水的強電解質)除去或降低到一定程度的凈水設備。1.0-10.0μS/cm，電阻率(25℃)0.1-1.0×10cm含鹽量為1-5mg/L。