PRO-SV 長行程提升級載物臺

我們的 PRO-SV 載物臺的小步長為 10 nm，是市面上的螺桿驅(qū)動提升級，此外，它們還能在短的高度上提供長的行程范圍。它們也是可以移動高達60公斤質(zhì)量的長行程升降級，同時提供出色的有效載荷可達性和幾何性能。

設計特點

支持 60 kg 負載能力，行程高達 50 mm，速度為 20 mm/s

通過高精度交叉滾子軸承提供出色的直線度和角性能

通過結(jié)合精密研磨滾珠絲杠、無槽力矩電機和低膨脹線性編碼器，實現(xiàn) 10 nm 步長

通過高可靠性驅(qū)動機構(gòu)提供較長的使用壽命

與 PRO-SL 和 PRO-LM 線性載物臺無縫集成

提供 ThermoComp，?可在不斷變化的環(huán)境中提供一致的性能

主要應用

PRO-SV載物臺非常適合高度受限的應用或堆疊多個定位級的情況，包括：

同步加速器和光束線樣品操作

晶圓檢測

表面計量

激光微加工

精密制造

在薄型封裝中實現(xiàn)長途旅行

與其他類型的垂直運動載物臺不同，PRO-SV 具有直接撞擊移動滑塊的驅(qū)動機構(gòu)。這提供了非常長的垂直行程范圍，并保持了盡可能短的高度，從而可以自由，清晰地訪問用戶的有效載荷。在設計運動系統(tǒng)時，小化工作點高度尤為重要，因為它可以限度地減少阿貝偏移，從而有助于提高整體精度。

精雕細琢，性能

通常與提升級相關的一個主要問題是幾何性能低于標準（即直線度、俯仰、滾動和偏航）。PRO-SV為這個問題提供了一種創(chuàng)新的解決方案。在防蠕變和交叉滾子軸承的指導下，移動滑塊在所有方向上都得到徹底的支撐，使PRO-SV成為市場上的商用提升級。此外，無槽無刷力矩電機直接連接到大直徑、精密研磨的滾珠絲杠驅(qū)動機構(gòu)，以極其平穩(wěn)、無齒輪的運動定位重的有效載荷。缺少皮帶、齒輪和撓性聯(lián)軸器有助于 PRO-SV 的高可靠性，并消除了因上鏈和間隙過大而產(chǎn)生的誤差源。

設計和集成靈活性的特性

PRO-SV專為無縫集成到多軸載物臺平臺，運動系統(tǒng)和機器中而設計。它直接安裝在 Aerotech 的 PRO-SL 和 PRO-LM 線性平移臺上，并配有可選的附件桌面，可將各種 Aerotech 旋轉(zhuǎn)載物臺或其他工藝設備集成到該臺架上。直接耦合旋轉(zhuǎn)編碼器反饋是標準配置，并且存在幾個可選的高分辨率線性編碼器附加功能，以便在使用雙環(huán)路反饋工作時提高精度和高帶寬。當有效負載管理至關重要時，PRO-SV可以配置一個線性編碼器以及一個保持制動器，以提供額外的保護，防止意外損壞。

更多產(chǎn)品信息，請聯(lián)系：卜振磊 18612885992

通過熱補償減輕熱錯誤?

溫度變化和熱效應可能是精密機器中誤差的有害來源，絲杠傳動特別容易受到影響。為了解決這個問題，PRO-SV載物臺具有Aerotech的ThermoComp?功能，這是一種集成的溫度補償解決方案，可在存在熱干擾的情況下提供準確可靠的定位性能。它可以保護載物臺免受變溫環(huán)境和摩擦引起的自發(fā)熱的影響，即使在極端工業(yè)環(huán)境中，終也能為用戶提供過程的穩(wěn)定性。

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