高新技術(shù)先進制造與自動化領(lǐng)域中高性能、智能化儀器儀表包括1.新型傳感器采用新原理、新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)，具有高穩(wěn)定性、高可靠性、高精度、智能化的新型傳感器技術(shù)；新型電子皮膚傳感器技術(shù)等。

* 采用傳統(tǒng)工藝且性能沒有提高的傳感器除外。

2.新型自動化儀器儀表適用于實時在線分析、新型現(xiàn)場控制系統(tǒng)、e網(wǎng)控制系統(tǒng)、基于工業(yè)控制計算機和可編程控制的開放式控制系統(tǒng)及特種測控裝備，能滿足重大工程項目在智能化、高精度、高可靠性、大量程、耐腐蝕、全密封和防爆等特殊要求的新型自動化儀器儀表技術(shù)等。

* 技術(shù)含量低和精度低的傳統(tǒng)流量、溫度、物位、壓力計或變送器除外。

3.科學(xué)分析儀器/檢測儀器用于監(jiān)控、產(chǎn)品質(zhì)量控制的科學(xué)分析儀器和檢測儀器技術(shù)等。

* 傳統(tǒng)的氣相色譜儀除外。

4.制造中的測控儀器儀表精密成形、超精密加工制造中的測控儀器儀表、亞微米到納米級制造中的測控儀器儀表、激光加工中的測控儀器儀表、制造中的無損檢測儀器儀表以及網(wǎng)絡(luò)化、協(xié)同化、開放型的測控系統(tǒng)技術(shù)；裸眼3D膜質(zhì)量檢測儀器技術(shù)等。

5.微機電系統(tǒng)技術(shù)以微米、納米加工技術(shù)為基礎(chǔ)制造的，集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路等于一體的微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)等。

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