超精加工是采用裝在振動頭上的細粒度油石對精加工表面進行精整加工。砂帶磨削是采用高速運轉(zhuǎn)的環(huán)形砂帶加工工件表面的磨削。鏡面磨削是達到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件，表面粗糙度不大于0.01微米，光如鏡面，可以清晰成像。精密加工在制造業(yè)中處于十分重要的地位，常用于精密絲杠、精密齒輪、精密蝸輪、精密導軌和精密軸承等關鍵零件的加工。

精密加工工藝是指加工精度和表面光潔程度高于各相應加工方法精加工的各種加工工藝。精密加工工藝包括精密切削加工（如金剛鏜、精密車削、寬刃精刨等）和高光潔高精度磨削。精密加工的加工精度一般在10~0.1μm，公差等級在IT5以上，表面粗糙度Ra在0.1μm以下。

精密五金加工就是將原材料(不銹鋼、銅料、鋁料、鐵料......)，用車床、銑床、鉆床、拋光等等機械按客戶的圖紙或樣品加工成為各種各樣高清密的零件，如：螺絲、馬達軸、模型車零件、釣魚具配件、狗骨.

超精密加工是處于發(fā)展中的跨學科綜合技術。20 世紀 50 年代至 80 年代為技術開創(chuàng)期。20 世紀 50 年代末，出于航天、國防等技術發(fā)展的需要，美國率先發(fā)展了超精密加工技術，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術，又稱為“微英寸技術”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術導彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。