凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞空氣過濾器代空氣過濾器。

空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合：初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器；中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統的正壓段；空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統末端，空氣過濾的安裝方式應簡便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞、空氣過濾器宜按額定風量選用；阻力、效率相近的空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。

確定集中或分散式凈化空氣調節(jié)系統時，應綜合考慮生產工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節(jié)系統。

凈化空氣調節(jié)系統如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在空氣過濾器的上風側，并應有防火措施。

送風機可按凈化空氣調節(jié)系統的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

凈化工程中凈化空氣調節(jié)系統除直流式系統和設置值班風機的系統外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內的防灌倒措施。

凈化空氣調節(jié)系統設計應合理利用回風，凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。

潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。

「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

作用

潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。

世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。

209E與209D等之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。

美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，的等級為Class 1，差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

潔凈室分類

（1）、工業(yè)潔凈室——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)（半導體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業(yè)。

（2）、生物潔凈室，主要控制有生命微粒（）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為； A、 一般生物潔凈室，主要控制微生物（）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。

B、 生物學潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：學、生物學、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）

10萬級無塵車間的潔凈標準

1、塵粒允許數(每立方米)。

2、大或等于0.5微米的粒子數不得超過3500000個，大或等于5微米的粒子數不得超過20000個。

3、微生物允許數。

4、浮游菌數不得超過500個每立方米。

5、沉隆菌數不得超過10個每培養(yǎng)皿。

6、壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。

7、溫濕度要求：十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

8、配電：潔凈室(區(qū))的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。