防靜電車間的整體建設(shè)應(yīng)由專業(yè)的防靜電工程公司來(lái)設(shè)計(jì)施工,具體主要有以下幾個(gè)方面的項(xiàng)目:
1. 零電位系統(tǒng)的設(shè)計(jì)(很重要,是所有防靜電工作的基礎(chǔ));
2.車間的凈化等級(jí)的考慮;
3. 空調(diào)及通風(fēng)設(shè)施的防靜電設(shè)計(jì);
4. 防靜電地板;
5.防靜電工作臺(tái)的設(shè)計(jì);
6.使用專用印刷線路板的焊錫爐;
7. 防靜電專用測(cè)試儀器;
8.整體安裝生產(chǎn)工藝的合理設(shè)計(jì),符合防靜電的要求。
防靜電無(wú)塵車間裝修裝修設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)及防護(hù)對(duì)策
1、ESD控制的基本原則
1)做好ESD防護(hù)設(shè)計(jì):器件選型、合理布線、設(shè)計(jì)保護(hù)電路等。
2)消除和減少靜電的產(chǎn)生:減少或消除靜電產(chǎn)生的過(guò)程、維持過(guò)程和材料處于等電勢(shì)等。
3)使靜電荷瀉放與中和:使用靜電導(dǎo)體、接地、電離器來(lái)瀉放與中和靜電,如下圖
4)保護(hù)產(chǎn)品免遭ESD傷害:使用防靜電材料包裝和儲(chǔ)運(yùn)。如下圖
2、防靜電區(qū)設(shè)計(jì)原則
1)抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生。如設(shè)備、儀器、工裝不使用塑料、有機(jī)玻璃、普通塑料袋。
2)、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷,使用有繩防靜電腕帶、防靜電椅、防靜電周轉(zhuǎn)車、防靜電周轉(zhuǎn)箱。
3)保證靜電壓小于100V。
3、防靜電系統(tǒng)要素
1)地面:防靜電地面(防靜電水磨石,防靜電地板)體電阻105~109Ω,敷設(shè)地線網(wǎng)。
2)接地:
a防靜電工作區(qū)必須有的防靜電接地裝置,地電阻小于4Ω。防靜電地線不得與電源零線相接,不得與防雷地線共用,使用三相五線制供電時(shí),其地線可以作防靜電地線。
b工作臺(tái)面、地墊等
過(guò)去,對(duì)靜電影響的意識(shí)不太明顯,因此不乏出現(xiàn)凈化車間施工中因靜電造成的不同嚴(yán)重程度的危害。其實(shí),當(dāng)凈化車間靜電的累積達(dá)到一定程度時(shí),對(duì)凈化工程質(zhì)量、凈化效果、設(shè)備等帶來(lái)很大影響,嚴(yán)重的會(huì)出現(xiàn)爆炸。那么要從凈化車間施工哪些角度入手,以便做好防靜電措施呢?
1、凈化車間施工的濕度因根據(jù)地域的不同,來(lái)設(shè)置符合潔凈區(qū)標(biāo)準(zhǔn)的屬性值,并維持在恒定狀態(tài),來(lái)防止靜電的產(chǎn)生。
2、凈化車間施工的地面材料應(yīng)具防靜電特性,可控制因人員走動(dòng)產(chǎn)生的靜電。
3、凈化車間施工時(shí),半導(dǎo)體的設(shè)備或零件應(yīng)存放在防靜電的容器中,這樣可以有效防止靜電的產(chǎn)生。
4、凈化車間施工中可使用防靜電設(shè)備,如離子頭、離子棒等。
5、半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料容器與塑料袋之中,其一般均會(huì)具有良好導(dǎo)電性能,可有效防止凈化車間之中靜電的產(chǎn)生。
微電子無(wú)塵車間設(shè)計(jì)中往往會(huì)因?yàn)殪o電引起事故發(fā)生,因此在微電子無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)裝修上,防靜電能力已經(jīng)成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)重要方面。微電子無(wú)塵車間靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,例如氣流的流動(dòng),氣流和管道、風(fēng)口、過(guò)濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服與衣服之間的摩擦,再加上工藝上的研磨、噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作等可能產(chǎn)生靜電。