在整個(gè)集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會(huì)成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦愃剖请娮訜o塵車間的廢品問題之一。

在整個(gè)集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會(huì)成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦愃剖请娮訜o塵車間的廢品問題之一。

為達(dá)到潔凈水平，無塵車間的設(shè)置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護(hù)管理等，其中空氣凈化措施是達(dá)到潔凈水平的根本保證。

首先，要選擇符合自身需求的無塵車間地面材料。常見的無塵車間地面，分為涂布型地面、粘貼性地面、水磨石地面、金屬隔柵通風(fēng)地面等。涂布型無塵車間地面，按照材料的不同，又分為聚氨酯涂料、環(huán)氧樹脂和聚酯樹脂砂漿。這種無塵車間地面，附著力強(qiáng)，易施工，彈性好，耐水、耐腐蝕。