在整個(gè)集成電子無(wú)塵車(chē)間中，電路的尺寸技術(shù)可以說(shuō)是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無(wú)塵車(chē)間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無(wú)塵車(chē)間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無(wú)塵車(chē)間中會(huì)成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦?lèi)似是電子無(wú)塵車(chē)間的廢品問(wèn)題之一。

為達(dá)到潔凈水平，無(wú)塵車(chē)間的設(shè)置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護(hù)管理等，其中空氣凈化措施是達(dá)到潔凈水平的根本保證。

在工作中，工作人員應(yīng)當(dāng)盡量避免或者減少接觸設(shè)備的產(chǎn)品的次數(shù)，如果可以，還是采取全自動(dòng)的生產(chǎn)流程。如果一定要接觸的話，應(yīng)該先洗干凈手，并且戴上手套，防止對(duì)設(shè)備和產(chǎn)品造成污染。

水磨石無(wú)塵車(chē)間地面，施工質(zhì)量會(huì)失控。金屬隔珊通風(fēng)地面，用于垂直單項(xiàng)流無(wú)塵車(chē)間作為回風(fēng)隔柵使用，一般采用多孔板。粘貼性無(wú)塵車(chē)間地面，有聚氯乙烯軟板，聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式，具有一定的彈性，耐磨不起塵，易清洗，耐腐蝕，防靜電，但整體性差，接縫和粘貼施工質(zhì)量失控后，影響使用效果，適用于電子、精密制造的一般無(wú)塵車(chē)間。