凈化車間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車間無(wú)塵是必然的要求。
凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前凈化車間應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
為了保持凈化車間內(nèi)的潔凈度,控制人員人數(shù)是必要的。在考慮靜電前提下,對(duì)人員服飾等也有嚴(yán)格管理方式。
1.凈化工程潔凈服上身和下身宜分離,穿著時(shí)要求,上衣必須放在下身里。
2.穿著的布料要求防靜電,潔凈室內(nèi)相對(duì)濕度較低。防靜電衣料可以將微粒子附著率降到90%。
3.根據(jù)企業(yè)自身需要,潔凈等級(jí)高的潔凈室會(huì)用到披肩帽,其下擺應(yīng)放在上衣之內(nèi)。
4.有些手套會(huì)有滑石粉,進(jìn)入室內(nèi)前必須將滑石粉去除。
5.新買的潔凈服一定要先清洗之后再穿,有條件的*用無(wú)塵水洗滌。
6.為了保證凈化工程凈化效果,1-2個(gè)星期必須清洗一次潔凈服,整個(gè)過(guò)程要在潔凈區(qū)進(jìn)行,避免依附微粒子。
臭氧發(fā)生器又叫臭氧機(jī)、臭氧機(jī),是用于制取臭氧的設(shè)備裝置。臭氧易于分解無(wú)法儲(chǔ)存需現(xiàn)場(chǎng)制取現(xiàn)場(chǎng)使用(但是在特殊的情況下是可以進(jìn)行短暫時(shí)間的儲(chǔ)存),凡是能用到臭氧的場(chǎng)所均需使用臭氧發(fā)生器。臭氧發(fā)生器在自來(lái)水,污水,工業(yè)氧化,空間等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
在藥品出產(chǎn)中,壇壇罐罐用得許多,分別用管道閥門,儀表連接起來(lái),組成一個(gè)出產(chǎn)單元。對(duì)它的,傳統(tǒng)辦法中比較好的是用酒精浸泡。反應(yīng)罐,儲(chǔ)存罐小的一噸半噸,大的十噸幾十噸,都要灌滿酒精,酒精用量之多可想而知。結(jié)束后,再將酒精放掉,但在拐彎抹角處,儀表閥門的接頭處,還會(huì)有酒精的殘留,去除這些殘留酒精,要用氮?dú)獯担钡酱蹈蔀橹?。酒精用量多,時(shí)間長(zhǎng),操作過(guò)程復(fù)雜。用高壓蒸汽也存在同樣的問(wèn)題,都很費(fèi)力。
現(xiàn)在用臭氧發(fā)生器技術(shù)來(lái)代替,相對(duì)來(lái)說(shuō)要省事得多。詳細(xì)辦法是:將高濃度的臭氧直接打入管道容器,堅(jiān)持臭氧尾氣有必定的濃度,就可以到達(dá)的要求。由于是對(duì)管道容器進(jìn)行內(nèi)表層的,所以臭氧濃度要操控的高一點(diǎn),一般規(guī)劃濃度大于50ppm。
用臭氧對(duì)管道容器做的優(yōu)點(diǎn)非常顯著,臭氧發(fā)生器可以活動(dòng)運(yùn)用,對(duì)不同的罐進(jìn)行,每個(gè)出產(chǎn)單元在每次換料前,都可以及時(shí)得到,運(yùn)用效率很高,也很便利,不要用那么多的酒精、氮?dú)猓膊灰酶邏赫羝?。所以在制藥廠就可以得到推行。
凈化車間是為了滿足生產(chǎn)工藝對(duì)于環(huán)境的要求,生產(chǎn)過(guò)程中需要對(duì)于溫濕度控制。利用凈化車間有效降低空氣中的灰塵,等。并實(shí)現(xiàn)恒溫恒壓恒躁,提供良好的生產(chǎn)環(huán)境。
像在干燥的中藥生產(chǎn)中凈化車間的應(yīng)用十分廣泛,幾乎所有生產(chǎn)片劑和膠囊劑的工廠都應(yīng)用干燥設(shè)備。通過(guò)干燥的動(dòng)物藥和植物藥中的水分降低,使霉菌,的繁殖降低至低程度;經(jīng)干燥后的脆性要比未經(jīng)干燥時(shí)增加許多,易與粉碎;干燥后的產(chǎn)品穩(wěn)定性比濕物料好,易于保藏,不至于使產(chǎn)品分解或變質(zhì);由于干燥與中藥生產(chǎn)的關(guān)系密切,因此干燥的好壞,將直接影響產(chǎn)品的使用,質(zhì)量和外觀等;在中藥的生產(chǎn)過(guò)程中,根據(jù)所采用的標(biāo)準(zhǔn)和生產(chǎn)工藝不同,干燥器的型式也各不相同。選用干燥器時(shí)要求:必須滿足干燥產(chǎn)品的質(zhì)量要求。
凈化車間通常為大柱網(wǎng)、大跨度、無(wú)采光窗的密閉廠房,《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001中對(duì)采光窗潔凈廠房的照度值有明確規(guī)定,無(wú)采光窗潔凈區(qū)混合照明中的通常照明,不低于2001x,比GBJ73-84中的1501x進(jìn)步了一級(jí),中國(guó)人工照明照度規(guī)范遍及比歐、美等國(guó)家低,實(shí)際上近一些中外合資和國(guó)外獨(dú)資的潔凈廠房照度遠(yuǎn)高于2001x,到達(dá)300~5001x。關(guān)于在密閉潔凈車間工作的操作人員來(lái)說(shuō),為他們供給明亮、舒服的視覺(jué)環(huán)境,可較大地進(jìn)步出產(chǎn)功率和精密產(chǎn)品的成品率。因而,恰當(dāng)進(jìn)步潔凈廠房的人工照明照度水平,進(jìn)步工作人員的視覺(jué)清潔,促進(jìn)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展都是有利的。
無(wú)塵車間對(duì)潔凈室的需要以及對(duì)無(wú)塵車間潔凈度的要求,取決于潔凈室內(nèi)工藝的性質(zhì)。在這方面,將產(chǎn)品、工藝及人員所需要的保護(hù)水平,連同其它所有組成部分對(duì)潔凈度的整個(gè)要求一并考慮,是非常關(guān)鍵的。以現(xiàn)實(shí)的觀點(diǎn)看,保證對(duì)一個(gè)特定環(huán)境有充分的污染控制,就必須控制室內(nèi)換氣次數(shù),控制室內(nèi)溫、濕度,控制與相鄰房間的壓差,控制室內(nèi)粒子濃度,控制房間使用的建筑材料與設(shè)備,控制微生物的數(shù)量,控制所用服裝的污染水平及通風(fēng)過(guò)濾器的數(shù)量。需要通盤考慮的其他因素有:人員的衛(wèi)生、設(shè)備選項(xiàng)、人流及物流的通道。
空氣處理系統(tǒng)潔凈室的通風(fēng)一般是為了消除室內(nèi)的各種污染物。這樣做不僅是為了形成對(duì)產(chǎn)品和工藝的環(huán)境,也是為了形成使工作人員滿意的工作環(huán)境。無(wú)塵車間的通風(fēng)可用兩種不同的方法:傳統(tǒng)氣流系統(tǒng)與單向氣流系統(tǒng)。
在一般所使用的傳統(tǒng)氣流系統(tǒng)中,送風(fēng)是由室內(nèi)不同位置的一個(gè)或多個(gè)過(guò)濾器(或其他種類的過(guò)濾器)完成的。單向流系統(tǒng)(也稱為層流系統(tǒng)LAF或UDF)中,是通過(guò)布滿整個(gè)吊頂(垂直流潔凈室)或整面墻(水平流潔凈室)的過(guò)濾器(或其他類型的過(guò)濾器)送風(fēng)。