一般10萬(wàn)級(jí)凈化車間工程要求用石膏板時(shí)必須用防水石膏板,而對(duì)于生物凈化車間由于經(jīng)常用水擦洗和用液沖洗,即使防水石膏板也要受潮變形,不耐沖洗,所以規(guī)定生物凈化車間不應(yīng)采用石膏板作罩面材料。另外十萬(wàn)級(jí)凈化車間工程的隔墻一般彩用50mm防火巖棉彩鋼板,而頂板建議采用玻鎂板,當(dāng)然也會(huì)用紙蜂窩彩鋼板。隔間、吊頂都需要用彩鋼板,通常都需要用防火巖棉莢芯彩鋼板。
潔凈技術(shù),即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是:對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過(guò)程中,對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對(duì)象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。
無(wú)塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。
氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃() → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。
技術(shù)參數(shù)
換氣次數(shù):十萬(wàn)級(jí)10-15次/小時(shí);
萬(wàn)級(jí)15-25次/小時(shí);
千級(jí)50-52次/小時(shí);
百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s;
壓差:主車間對(duì)相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)≥10Pa;
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;