一般10萬級凈化車間工程要求用石膏板時(shí)必須用防水石膏板,而對于生物凈化車間由于經(jīng)常用水擦洗和用液沖洗,即使防水石膏板也要受潮變形,不耐沖洗,所以規(guī)定生物凈化車間不應(yīng)采用石膏板作罩面材料。另外十萬級凈化車間工程的隔墻一般彩用50mm防火巖棉彩鋼板,而頂板建議采用玻鎂板,當(dāng)然也會用紙蜂窩彩鋼板。隔間、吊頂都需要用彩鋼板,通常都需要用防火巖棉莢芯彩鋼板。
玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時(shí),人體每分鐘散發(fā)10萬個(gè)粒子(粒≥0.5μm);
每天脫落6~13克表皮細(xì)胞,一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。
半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來源,經(jīng)測試,作業(yè)人員占80% 。
十萬級GMP潔凈車間對不同的對象,有不同的玷污物控制要求。
計(jì)有:
⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空氣中懸浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸靜電
⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì):高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學(xué)品等的有關(guān)雜質(zhì)。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃() → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
技術(shù)參數(shù)
換氣次數(shù):十萬級10-15次/小時(shí);
萬級15-25次/小時(shí);
千級50-52次/小時(shí);
百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s;
壓差:主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa;
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;