潔凈技術(shù),即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是:對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、、防護(hù)及實驗等過程中,對其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。
無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。
也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃() → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
技術(shù)參數(shù)
換氣次數(shù):十萬級10-15次/小時;
萬級15-25次/小時;
千級50-52次/小時;
百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s;
壓差:主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa;
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;