潔凈技術(shù),即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是:對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過(guò)程中,對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對(duì)象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。
無(wú)塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。
也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃() → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。
技術(shù)參數(shù)
換氣次數(shù):十萬(wàn)級(jí)10-15次/小時(shí);
萬(wàn)級(jí)15-25次/小時(shí);
千級(jí)50-52次/小時(shí);
百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s;
壓差:主車(chē)間對(duì)相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)≥10Pa;
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;