一般10萬級凈化車間工程要求用石膏板時必須用防水石膏板,而對于生物凈化車間由于經(jīng)常用水擦洗和用液沖洗,即使防水石膏板也要受潮變形,不耐沖洗,所以規(guī)定生物凈化車間不應采用石膏板作罩面材料。另外十萬級凈化車間工程的隔墻一般彩用50mm防火巖棉彩鋼板,而頂板建議采用玻鎂板,當然也會用紙蜂窩彩鋼板。隔間、吊頂都需要用彩鋼板,通常都需要用防火巖棉莢芯彩鋼板。
無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。
無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的凈化設備之一,它可以限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域,達到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。