10萬級凈化車間通常都需頻繁擦拭,除了用水擦拭還會用水、其它溶劑等擦拭,這些液體通常都有一定的化學品性,會使一些材料表面變色、脫落,這就要求裝修材料表面有一定的耐化學品性。
玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細胞,一年脫落人體細胞約3.5公斤。
半導體潔凈室內(nèi)微污染來源,經(jīng)測試,作業(yè)人員占80% 。
十萬級GMP潔凈車間對不同的對象,有不同的玷污物控制要求。
計有:
⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空氣中懸浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸靜電
⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì):高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學品等的有關雜質(zhì)。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→送風口→潔凈室→帶走塵埃() → 回風夾道→新風、初效空氣處理。
重復以上過程,即可達到凈化目的。
技術參數(shù)
換氣次數(shù):十萬級10-15次/小時;
萬級15-25次/小時;
千級50-52次/小時;
百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s;
壓差:主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa;
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 新風補充量:總送風量的20%-30%;