10萬(wàn)級(jí)凈化車間通常都需頻繁擦拭,除了用水擦拭還會(huì)用水、其它溶劑等擦拭,這些液體通常都有一定的化學(xué)品性,會(huì)使一些材料表面變色、脫落,這就要求裝修材料表面有一定的耐化學(xué)品性。
一般10萬(wàn)級(jí)凈化車間工程要求用石膏板時(shí)必須用防水石膏板,而對(duì)于生物凈化車間由于經(jīng)常用水擦洗和用液沖洗,即使防水石膏板也要受潮變形,不耐沖洗,所以規(guī)定生物凈化車間不應(yīng)采用石膏板作罩面材料。另外十萬(wàn)級(jí)凈化車間工程的隔墻一般彩用50mm防火巖棉彩鋼板,而頂板建議采用玻鎂板,當(dāng)然也會(huì)用紙蜂窩彩鋼板。隔間、吊頂都需要用彩鋼板,通常都需要用防火巖棉莢芯彩鋼板。
玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時(shí),人體每分鐘散發(fā)10萬(wàn)個(gè)粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細(xì)胞,一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。
半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來(lái)源,經(jīng)測(cè)試,作業(yè)人員占80% 。
十萬(wàn)級(jí)GMP潔凈車間對(duì)不同的對(duì)象,有不同的玷污物控制要求。
計(jì)有:
⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空氣中懸浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸靜電
⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì):高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學(xué)品等的有關(guān)雜質(zhì)。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。