凈化車間裝修注意事項 1、無塵車間裝修建筑裝飾工程必須與各專業(yè)工種間制定嚴格的施工程序,一般依次為:留洞打底,各專業(yè)安裝,內門窗安裝,修補洞口及周邊,基層打底,飾面抹灰和罩面板工程,嵌縫處理,油漆刷漿工程和裱糊工程。 2、在無塵車間裝修建筑裝飾施工過程中,必須隨時清掃灰塵,對隱蔽空間(如吊頂和夾墻內部等),還應做好清掃記錄。 3、應保護已完成的裝飾工程表面,不得因撞擊、敲打、踩踏,多水作業(yè)等造成板材凹陷,暗裂和表面裝飾的污染。 4、對已安裝過濾器的房間,不得進行有粉塵的作業(yè)。 5、塑料板材和卷材面層鋪貼前應預先按規(guī)格大小,厚薄分類,板材或卷材與地面之間應滿涂粘接劑,表面趕平,不得漏涂或殘存空氣。 6、密封膠嵌固前,應將基槽內的雜質,油污剔除干凈,并保持表面干燥。 7、無塵車間臨時設置的設備入口不用時應封閉,防止塵土雜物進入。 8、施工現場應保證良好的通風和照明,對于改建工程,應查明和切斷原有電源及易燃,易爆和有毒氣體管線后方可施工,對工藝生產過程中使用的腐蝕性液體應有防護措施。
無塵潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室,潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎。沒有無塵潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
過濾器的分類
按過濾器的性能(效率、阻力、容塵量)來劃分,通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞、(HEPA)和超(ULPA)六類過濾器。
我國國家標準《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規(guī)定如下:
國家標準《空氣過濾器》GB13554-92中規(guī)定將過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超過濾器(或稱為0.1μm過濾器或超低透過率過濾器)。