十萬級凈化車間主要采用的回風(fēng)方式包括：單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口，當(dāng)采用走廊回風(fēng)時，在走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在走廊端部位置設(shè)置回風(fēng)口，回風(fēng)口的風(fēng)速不得超過規(guī)定的速度。十萬級凈化車間主要采用的送風(fēng)方式為局部孔板頂棚送風(fēng)、帶擴散板空氣過濾頂棚送風(fēng)和上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。

為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進行凈化車間的結(jié)構(gòu)設(shè)計，以及凈化車間內(nèi)的只要布局，防止凈化車間的氣流漩渦的產(chǎn)生，必要的謹慎可以有效防止一些不必要的事情發(fā)生。

人和物是無塵車間的主要發(fā)塵源，當(dāng)然生產(chǎn)設(shè)備也會產(chǎn)塵，但人和物品是的灰塵來源。因此必須充分控制，例如：在進入凈化房前，所有的人都要經(jīng)過更衣，凈化吹淋系統(tǒng)，且要限制工作人員的人數(shù)等。物品在傳遞的時候要經(jīng)過清潔后在傳遞，傳遞還要按照正確的方式進行。

凈化車間施工規(guī)范

1、地面處理做自流平地面處理，鋪設(shè)2mm厚PVC地板。

2、根據(jù)規(guī)范要求，潔凈室在設(shè)計和安裝時應(yīng)考慮使用中避免出現(xiàn)不易清潔的部位，本工程在進行凈化裝修時，門窗安裝與建筑、凈化空調(diào)、各種管線、照明燈具的結(jié)合部位縫隙要密封處理。

3、所有的配件、隔墻、吊頂?shù)墓潭ê偷鯍旒荒芘c主體結(jié)構(gòu)相連，不能與設(shè)備和管線支架交叉混用，防止因微震引起裝飾材料松動和灰塵脫落。

4、建筑裝飾和門窗的縫隙應(yīng)在正面密封。

5、根據(jù)無塵凈化車間認證檢查標(biāo)準，室內(nèi)裝修要符合下列要求:

a.應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。

b.墻壁和頂棚表面應(yīng)光潔、平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗，減少凹凸面。墻、地面相接處做成半徑等于50mm的圓角。壁面色彩要和諧、雅致，并便于識別污染物。

c.門窗與內(nèi)墻而要平直，結(jié)構(gòu)要充分考慮對空氣和水汽的密封，使污染粒子不易從外部滲入，防止由于室內(nèi)外溫差而產(chǎn)生結(jié)露。室內(nèi)不同潔凈度房間之間的內(nèi)門、內(nèi)窗以及隔斷等縫隙均須密封。

6、施工中應(yīng)控制施工作業(yè)中的發(fā)塵量，特別是吊頂和夾墻內(nèi)部等隱蔽空間，必須隨時清掃。

7、在己安裝過濾器的房間，不能進行有粉塵的裝修作業(yè)。

8、注意保護已完成的作業(yè)面，不得因撞擊、敲打、踩踏、多水作業(yè)等造成板材凹陷、暗裂和表面裝修的污染。

要使用防止靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)的材料，要根據(jù)企業(yè)預(yù)算選擇適宜的材料，但防靜電是基礎(chǔ)。潔凈室凈化工程是一個應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，（21世紀）在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級差別也較大。無塵車間目前級別的當(dāng)屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。