真空蒸發(fā)鍍膜過(guò)程中需要在真空下加熱蒸發(fā)膜材料。這個(gè)過(guò)程中加熱是有多種方式的，今天螺桿真空泵廠家就和大家一起了解下這個(gè)。

真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備中常用的加熱方式主要包括以下幾種：

螺桿真空泵-首先是電阻式加熱。電阻式加熱蒸發(fā)源實(shí)際上是一個(gè)電阻加熱器，利用發(fā)熱體通電后產(chǎn)生焦耳熱來(lái)獲得高溫，以此來(lái)熔融膜材料，使其蒸發(fā)。這種加熱源結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低，具體還有絲狀電阻源、舟狀電阻源、坩堝加熱器等形式。

第二種常見(jiàn)的是電子束加熱蒸發(fā)源。電子束加熱是通過(guò)電場(chǎng)加速電子，使其獲得動(dòng)能打到膜材上，使膜材料加熱氣化。這種加熱方式比電阻式加熱熱效率更高，可以直接加熱到材料表面，可以提高膜的純度。其下具體的加熱方式還有磁偏轉(zhuǎn)式電子束加熱、空心熱陰極等離子電子束加熱等。

第三種，感應(yīng)式加熱。感應(yīng)式加熱蒸發(fā)源是將裝有膜材料的坩堝放在螺旋線圈的中央（不接觸），再在線圈中通高頻電流，膜材料在高頻電磁感應(yīng)下產(chǎn)生渦流出現(xiàn)升溫，直至蒸發(fā)。這種加熱蒸發(fā)方式的特點(diǎn)是對(duì)膜材料的純度要求相對(duì)較低，蒸發(fā)源溫度穩(wěn)定，蒸發(fā)速率大。

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