首先，要選擇符合自身需求的無塵車間地面材料。常見的無塵車間地面，分為涂布型地面、粘貼性地面、水磨石地面、金屬隔柵通風地面等。涂布型無塵車間地面，按照材料的不同，又分為聚氨酯涂料、環(huán)氧樹脂和聚酯樹脂砂漿。這種無塵車間地面，附著力強，易施工，彈性好，耐水、耐腐蝕。

在決定無塵車間的設(shè)計之前，必須仔細考慮工廠的工作性質(zhì)和氣流條件。在粉塵排放量較大的無塵車間內(nèi)，不要使用地面送風，以免進入其他需要清潔的工作場所。

無塵車間必須防止外界空氣進入室內(nèi)，室內(nèi)必須保持正壓才能達到目的。為了獲得必要的室內(nèi)壓力，必須添加適當?shù)男迈r空氣。

人和物體是粉塵的主要來源，應(yīng)加以控制。比如進入無塵車間，每個人都必須通過人際網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)換上干凈的衣服，接受凈化系統(tǒng)功能的基礎(chǔ)教育。

在無塵車間的設(shè)計過程中，根據(jù)項目的實際情況和客戶的具體要求，做好以上幾點。按設(shè)計方案運行的無塵車間應(yīng)提供必要的給排水裝置、供氣裝置和電源。這些裝置和相關(guān)設(shè)備的設(shè)計必須易于使用，并且不會對空氣凈化系統(tǒng)造成障礙。

在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。