本科生微電子器件及材料實驗目的

通過實驗動手操作，加深對半導體物理理論知識的理解，掌握半導體材料和不同器件性能的表征方法及基本實驗技能，培養(yǎng)分析問題和解決問題的能力。

本科生微電子器件及材料實驗目錄

實驗一：金屬-氧化物-半導體場效應晶體管特性IV特性測試實驗

實驗二：四探針法測量半導體電阻率測試實驗

實驗三： MOS電容的CV特性測試實驗

實驗四：半導體霍爾效應測試實驗實驗

實驗五：激光二極管LD的LIV特性測試實驗

實驗六：太陽能電池的特性表征實驗

本科生微電子器件及材料實驗測試平臺優(yōu)勢

滿足本科生基礎教學實驗中微電子器件和材料測試需求

測試設備簡單易用，專業(yè)，方便學生動手操作

核心設備測試精度高，滿足新材料和新器件的指標要求

測試軟件功能齊全，平臺化設計，有專人維護支持，與專業(yè)測試軟件使用相同架構

以基礎平臺為起點，可逐步升級，滿足日益增加的實驗室測試需求

本科生微電子器件及材料實驗測試平臺基本功能

實驗名稱

測試參數(shù)

金屬-氧化物-半導體場效應晶體管特性的IV特性測試實驗

l輸出特性曲線

l轉移特性曲線

l跨導gm

l擊穿電壓BVDS

l

四探針法測量半導體電阻率測試實驗

l四探針法電阻率ρ

l材料阻值R

MOS電容的CV特性測試實驗（低頻 + 高頻）

lCV特性曲線

半導體霍爾效應測試實驗

l霍爾電壓VH

l霍爾電阻率ρ

l霍爾系數(shù)RH

l載流子濃度n

l霍爾遷移率u

激光二極管LD的LIV特性測試

lLIV特性曲線

l閾值電流Ith

l閾值電流對應電壓值Vth

l拐點Kink

l線性電阻Rs

太陽能電池的特性表征

l開路電壓Voc

l短路電流Isc

l功率值Pmax

l填充因子FF

l轉換效率η

l串聯(lián)電阻Rs

l旁路電阻Rsh

本科生微電子器件及材料實驗測試平臺核心

測試平臺的核心– 源測量單元（源表， SMU）

普賽斯國產源表五表合一四象限模式

四線/開爾文測試功能

小信號測試

滿足先進器件和材料測試需求

交流測試使用LCR表

探針臺：4寸或6寸手動探針臺

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