本科生集成電路實驗?zāi)康?/strong>

通過實驗動手操作，加深對半導(dǎo)體物理理論知識的理解，掌握半導(dǎo)體材料和不同器件性能的表征方法及基本實驗技能，培養(yǎng)分析問題和解決問題的能力。

本科生集成電路實驗目錄

實驗一：金屬-氧化物-半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管特性IV特性測試實驗

實驗二：四探針法測量半導(dǎo)體電阻率測試實驗

實驗三： MOS電容的CV特性測試實驗

實驗四：半導(dǎo)體霍爾效應(yīng)測試實驗實驗

實驗五：激光二極管LD的LIV特性測試實驗

實驗六：太陽能電池的特性表征實驗

本科生集成電路實驗平臺優(yōu)勢

滿足本科生基礎(chǔ)教學(xué)實驗中微電子器件和材料測試需求

測試設(shè)備簡單易用，專業(yè)，方便學(xué)生動手操作

核心設(shè)備測試精度高，滿足新材料和新器件的指標(biāo)要求

測試軟件功能齊全，平臺化設(shè)計，有專人維護支持，與專業(yè)測試軟件使用相同架構(gòu)

以基礎(chǔ)平臺為起點，可逐步升級，滿足日益增加的實驗室測試需求

本科生集成電路實驗基本功能

實驗名稱

測試參數(shù)

金屬-氧化物-半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管特性的IV特性測試實驗

l輸出特性曲線

l轉(zhuǎn)移特性曲線

l跨導(dǎo)gm

l擊穿電壓BVDS

l

四探針法測量半導(dǎo)體電阻率測試實驗

l四探針法電阻率ρ

l材料阻值R

MOS電容的CV特性測試實驗（低頻 + 高頻）

lCV特性曲線

半導(dǎo)體霍爾效應(yīng)測試實驗

l霍爾電壓VH

l霍爾電阻率ρ

l霍爾系數(shù)RH

l載流子濃度n

l霍爾遷移率u

激光二極管LD的LIV特性測試

lLIV特性曲線

l閾值電流Ith

l閾值電流對應(yīng)電壓值Vth

l拐點Kink

l線性電阻Rs

太陽能電池的特性表征

l開路電壓Voc

l短路電流Isc

l功率值Pmax

l填充因子FF

l轉(zhuǎn)換效率η

l串聯(lián)電阻Rs

l旁路電阻Rsh

本科生集成電路實驗平臺核心

測試平臺的核心– 源測量單元（源表， SMU）

普賽斯國產(chǎn)源表四表合一四象限模式

四線/開爾文測試功能

小信號測試

滿足器件和材料測試需求

交流測試使用LCR表

探針臺：4寸或6寸手動探針臺

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