半導(dǎo)體廠潔凈工程 電子廠無塵車間裝修施工咨詢上海順外
在半導(dǎo)體凈化車間裝修時(shí),要求時(shí)根據(jù)行業(yè)不同,車間操作不同來劃分等級來裝修的。其中在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)的光刻工序中,硅片露出在生產(chǎn)環(huán)境中,污染概率很高時(shí)元器件的廢品率也會很高,所以為避免出現(xiàn)這種傷害,現(xiàn)階段在超大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路的潔凈廠房中一般選用微環(huán)境,把加工工藝核心區(qū)隔離,在微環(huán)境的隔離區(qū)內(nèi)做到所規(guī)定的空氣潔凈度等級和環(huán)境控制規(guī)定(M度、相對濕度、壓力)。工作區(qū)域是由人和/或自動(dòng)處理設(shè)備對晶片開展加工的區(qū)域,為保障作業(yè)區(qū)域內(nèi)產(chǎn)品免被污染,一般選用單向流或微環(huán)境把人和露出的產(chǎn)品隔離。
一、基本要求
1、承擔(dān)潔凈廠房裝修施工企業(yè),應(yīng)具有相應(yīng)工程施工資質(zhì)及其等級,并應(yīng)具有完善的質(zhì)量管理體系。?上海順外凈化科技有限公司施工資質(zhì)齊全,所有項(xiàng)目均可通過第三方檢測。
2、潔凈車間的施工應(yīng)按設(shè)計(jì)文件、合約的內(nèi)容實(shí)施。當(dāng)修改設(shè)計(jì)時(shí),應(yīng)經(jīng)原設(shè)計(jì)單位的確認(rèn)、簽證,并得到建設(shè)單位的同意。
3、潔凈車間施工前應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目的特點(diǎn),制訂施工方案和程序,做到各工種協(xié)調(diào)施工、階段明確、交接清楚,確保整體施工質(zhì)量和操作。
4、施工企業(yè)承擔(dān)對潔凈車間工程內(nèi)各專業(yè)設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行深化的施工詳圖設(shè)計(jì)時(shí),應(yīng)執(zhí)行現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈車間設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的相關(guān)規(guī)定,并應(yīng)加強(qiáng)設(shè)計(jì)質(zhì)量管理,具有質(zhì)量管理體系,施工詳圖應(yīng)得到原設(shè)計(jì)單位的書面同意或確認(rèn),并得到建設(shè)單位的同意后,方能進(jìn)行施工。
5、潔凈車間工程竣工驗(yàn)收的系統(tǒng)調(diào)試,應(yīng)在建設(shè)單位和監(jiān)理單位的共同參與下進(jìn)行,由施工企業(yè)負(fù)責(zé)進(jìn)行系統(tǒng)調(diào)試、檢測,承擔(dān)調(diào)試的單位應(yīng)具有調(diào)試、檢測專職技術(shù)人員和符合本規(guī)范規(guī)定的測試儀器。
二、半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)
設(shè)計(jì)范圍包括:裝修方案(圍護(hù)、地面防水保溫處理),暖通方案(空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等),特氣供應(yīng)方案(特氣柜含保險(xiǎn)控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA級管道、供氣管路尾氣處理),壓縮空氣方案,廢氣處理方案(儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理),電氣方案(空調(diào)設(shè)備動(dòng)力配電等),弱電工程,集成控制智能平臺,純水方案(冷卻水、去離子水、超純水、水管等),廢水處理。
上海順外專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)室整體設(shè)計(jì)規(guī)劃、實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)工程施工、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備安裝調(diào)試、配套服務(wù)的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室總承包公司。為各行業(yè)提供實(shí)驗(yàn)室提供實(shí)驗(yàn)室建設(shè)、設(shè)計(jì)方案、實(shí)驗(yàn)室全套家具、工業(yè)設(shè)備等。公司有強(qiáng)大的資本、技術(shù)和管理優(yōu)勢,以先進(jìn)的營銷和規(guī)劃設(shè)計(jì)理念、強(qiáng)大的產(chǎn)品整合系統(tǒng)、完善的客戶服務(wù)體系,為客戶提供專業(yè)、高品質(zhì)的一站式服務(wù)。歡迎咨詢哦。