光氧化是常溫下深度光降解技術(shù)。該技術(shù)通過(guò)特定波長(zhǎng)的UV激發(fā)光源產(chǎn)生不同能量的光量子；廢氣物質(zhì)對(duì)該光量子的強(qiáng)烈吸收，在大量攜能光量子的轟擊下使廢氣物質(zhì)分子解離和激發(fā)；空氣中的氧氣和水分及外加的臭氧在該光量子的（分解）作用下可產(chǎn)生大量的新生態(tài)氫、活性（游離）氧和羥基氧等活性基團(tuán)；因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧，臭氧對(duì)紫外線光束照射分解后的有機(jī)物具有極強(qiáng)的氧化作用；部分廢氣物質(zhì)也能與活性基團(tuán)反應(yīng)，終降解轉(zhuǎn)化為低分子化合物、CO2和H2O 等無(wú)害物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。