無油螺桿真空泵-變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種：

⑴往復(fù)真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵（隔膜式真空泵也是一種往復(fù)式真空泵）。

⑵旋轉(zhuǎn)真空泵：是利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入，壓縮并排出。旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種型式：

①油封式真空泵：它是利用油類密封各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故部分又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。

②液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小容積，介質(zhì)為水時(shí)也叫水環(huán)真空泵。

無油螺桿真空泵-③羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。機(jī)械增壓泵即為這種型式的真空泵。

④螺桿真空泵：利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到廣泛應(yīng)用。

⑤爪式真空泵：爪式真空泵原理類似與羅茨，利用兩個(gè)爪型轉(zhuǎn)子與泵腔形成抽氣容積，旋轉(zhuǎn)過程中轉(zhuǎn)子可自動(dòng)開閉。

⑥渦旋真空泵：渦旋真空泵是由渦旋壓縮機(jī)演化而來的一種無油真空泵。

其中螺桿真空泵、爪式真空泵以及渦旋真空泵等又可以稱為干式真空泵，可以實(shí)現(xiàn)不用油類密封。

無油螺桿真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時(shí)間運(yùn)行，并且針對(duì)國內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對(duì)性優(yōu)化，更適應(yīng)國內(nèi)的各類工況環(huán)境，實(shí)際應(yīng)用實(shí)現(xiàn)更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風(fēng)洞實(shí)驗(yàn)和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。