隨著現(xiàn)代機械加工的快速發(fā)展，機械加工技術快速發(fā)展，慢慢的涌現(xiàn)出了許多先進的機械加工技術方法，比如微型機械加工技術、快速成形技術、精密超精密加工技術等。微型機械加工技術隨著微/納米科學與技術的發(fā)展，以本身形狀尺寸微小或操作尺度極小為特征的微機械已成為人們認識和改造微觀世界的一種高新科技。微機械由于具有能夠在狹小空間內進行作業(yè)，而又不擾亂工作環(huán)境和對象的特點，在航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療等領域有著廣闊的應用潛力，并成為納米技術研究的重要手段，因而受到高度重視并被列為21世紀關鍵技術之首。

微型機械加工技術機械產品隨著微/納米科學與技術(Micro/Nano Science and Technology)的發(fā)展，以本身形狀尺寸微小或操作尺度極小為特征的微機械已成為人們認識和改造微觀世界的一種高新科技。微機械由于具有能夠在狹小空間內進行作業(yè)，而又不擾亂工作環(huán)境和對象的特點，在航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療等領域有著廣闊的應用潛力，并成為納米技術研究的重要手段，因而受到高度重視并被列為21世紀關鍵技術之首。

快速成形機械加工技術快速成形技術是20世紀發(fā)展起來的，可根據(jù)CAD模型快速制造出樣件或者零件。它是一種材料累加加工制造方法，即通過材料的有序累加而完成三維成形的?？焖俪尚渭夹g集成了CNC技術、材料技術、激光技術以及CAD技術等現(xiàn)代的科技成果，是現(xiàn)代先進機械加工技術的重要組成部分。

超精密特種加工廠家加工精度以納米，甚至終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，切削加工方法已不能適應，需要借助特種加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的結合能，從而去除工件表面的部分原子間的附著、結合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點是對表面層物質去除或添加的量可以作極細微的控制。但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設備和的控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。