激光器特點

l長期工作穩(wěn)定性高

lRS232控制，外部GATE，TRIGGER控制

l支持PWM功率控制

lLD模塊可現(xiàn)場更換

lTEM00基模輸出（M2<1.3）

l體積小，結(jié)構(gòu)緊湊

l重復(fù)頻率30kHz-100kHz可調(diào)

應(yīng)用范圍

l薄膜蝕刻

l材料微加工

l微孔加工

l晶圓切割

l科學(xué)研究等

l激光標(biāo)記

技術(shù)參數(shù)

型號

RM355Q-3W

波長

355nm

功率

3W@30KHz

單脈沖能量

100μJ@30kHz

頻率

30~100kHz

脈寬

<20ns@30KHz

光斑模式

TEM00(M2<1.3)

光束直徑

0.5±0.1mm

功率穩(wěn)定性

<3% RMS over 8 hours

脈沖穩(wěn)定性

<3% RMS over 10mins

光點穩(wěn)定性

<50μrad

光束發(fā)散角

<2mrad (full angle)

光斑圓度

>90%

控制方式

RS232, Gate, Trigger

制冷方式

Air-cooling

偏振方向

Horizontal

偏振比

>100:1

環(huán)境溫度

15°C ~ 35°C

相對濕度

10% ~ 80%（無結(jié)露）

預(yù)熱時間

<15mins

工作電壓

90V ~ 260V