科研實(shí)驗(yàn)專用碳化鉻靶材Cr3C2磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發(fā)料
產(chǎn)品介紹
碳化鉻(Cr3C2)為灰色粉末,有金屬光澤;斜方晶系;密度為6.68g/cm3,熔點(diǎn):1890℃,沸點(diǎn):3800℃;在高溫環(huán)境下(1000~1100℃)具有良好的耐磨、耐腐蝕、抗氧化性能;屬于金屬陶瓷。用作硬質(zhì)合金的晶粒細(xì)化劑及其他耐磨、耐腐蝕元件;以Cr3C2為基的金屬陶瓷在高溫下有極優(yōu)異的抗氧化性能;粗粒碳化鉻作為熔噴材料在金屬及陶瓷表面形成熔噴覆膜,賦予后者以耐磨、耐熱、耐蝕等性能,廣泛用于飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)及石油化工機(jī)械器件上,以大大提高機(jī)械壽命;亦用于噴制半導(dǎo)體膜。
產(chǎn)品參數(shù)
中文名 碳化鉻 化學(xué)式 Cr3C2 分子量 180.01
熔點(diǎn) 1890℃ 沸點(diǎn) 3800℃ 密度 6.68g/mL
純度 99.9%
支持靶材定制,請(qǐng)?zhí)峁┌胁漠a(chǎn)品的元素、比例(重量比或原子比)、規(guī)格,我們會(huì)盡快為您報(bào)價(jià)?。?/p>
服務(wù)項(xiàng)目:靶材成份比例、規(guī)格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款,質(zhì)量保證,售后無(wú)憂!
產(chǎn)品附件:發(fā)貨時(shí)產(chǎn)品附帶裝箱單/質(zhì)檢單/產(chǎn)品為真空包裝
適用儀器:多種型號(hào)磁控濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)設(shè)備
質(zhì)量控制:嚴(yán)格控制生產(chǎn)工藝,采用輝光放電質(zhì)譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測(cè)手段,分析雜質(zhì)元素含量保證材料的高純度與細(xì)小晶粒度;可提供質(zhì)檢報(bào)告。
加工流程:熔煉→提純→鍛造→機(jī)加工→檢測(cè)→包裝出庫(kù)
陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導(dǎo)熱性差,連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間濺射易發(fā)生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導(dǎo)熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強(qiáng)烈建議您,選購(gòu)陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!
我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無(wú)氧銅作為背靶。
注意:高純銦的熔點(diǎn)約為156℃,靶材工作溫度超過(guò)熔點(diǎn)會(huì)導(dǎo)致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!
建議:陶瓷脆性靶材、燒結(jié)靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過(guò)3W/cm2。