催化燃燒是典型的氣—固相催化反應，實質是利用催化劑的深度催化氧化活性將有機物質(VOCs等)在燃點以下的溫度(200-400℃)與氧氣反應生成CO2、N2和H2O(反應在固體催化劑表面進行，吸附作用使有機分子富集而提高了反應速率；催化劑降低了反應的活化能，使有機廢氣在較低的起燃溫度下進行無焰燃燒)以下是關于該催化燃燒技術的工藝流程介紹。

根據廢氣預熱方式及富集方式，催化燃燒工藝流程可分為預熱式、自身熱平衡和吸附-催化燃燒三種。

1、預熱式當有機廢氣溫度(100℃以下)和濃度較低時在進入反應器前，先在預熱室加熱升溫，燃燒凈化后氣體在熱交換器內與未處理廢氣進行熱交換，以回收部分熱量。

2、自身熱平衡當有機廢氣溫度高于起燃溫度且有機物含量也高時通過熱交換器回收部分凈化氣體產生的熱量，不需補充熱量，只需設置用于起燃的電加熱器。

3、吸附-催化燃燒當有機廢氣流量大、濃度低、溫度低，采用催化燃燒還需耗大量燃料時可先采用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑上進行濃縮，然后再經熱空氣吹掃，使有機廢氣脫附出來，成為濃縮的高濃度有機廢氣，再催化燃燒。濃縮有機廢氣可實現自身熱平衡運轉，無需外界補充熱源。