半導(dǎo)體分立器件:爐管清洗機、RCA清洗機、去膠臺、有機去膠清洗機、濺射前預(yù)清洗、鋁腐蝕臺、顯影臺 、CVD清洗臺、擴散清洗機、金屬腐蝕臺 等;半導(dǎo)體集成電路:酸堿清洗臺;
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