干式真空泵-伴隨著真空技術(shù)的發(fā)展，真空測(cè)量技術(shù)也從粗真空走向超高真空領(lǐng)域。螺桿真空泵廠家珂勒曦梳理了真空測(cè)量技術(shù)幾個(gè)世紀(jì)以來(lái)的發(fā)展過(guò)程，列出了幾個(gè)重大發(fā)展節(jié)點(diǎn)，可以讓大家對(duì)真空測(cè)量技術(shù)的發(fā)展有更加直觀簡(jiǎn)明的認(rèn)識(shí)。

自1643年意大利物理學(xué)家托里拆利進(jìn)行大氣壓力實(shí)驗(yàn)以來(lái)，先后出現(xiàn)許多種真空計(jì)。早出現(xiàn)的是Ｕ形管真空計(jì)，它只能用來(lái)測(cè)量粗真空和低真空。

1874年，麥克勞發(fā)明的壓縮式真空計(jì)，解決了低真空和高真空的壓力的測(cè)量，但在當(dāng)時(shí)不能進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。

1906年，皮拉尼發(fā)明電阻式真空計(jì)，解決了工業(yè)生產(chǎn)中的低真空測(cè)量問(wèn)題。

1916年，貝克利于發(fā)明電離真空計(jì)，這在當(dāng)時(shí)不僅解決了10-1～10-5帕的高真空測(cè)量，而且促進(jìn)了油擴(kuò)散泵等真空設(shè)備的發(fā)展和應(yīng)用。

1937年，潘寧發(fā)明冷陰極電離真空計(jì)，適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測(cè)量，在真空冶金和機(jī)械工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。

1950年，貝阿德和阿爾伯特發(fā)明BA式電離真空計(jì)，解決了10-8帕的超高真空測(cè)量問(wèn)題，從而使真空測(cè)量獲得了突破，并推動(dòng)了超高真空技術(shù)的發(fā)展；而與此有關(guān)的表面物理、核能、航天和大型集成電路等科學(xué)技術(shù)也得到了迅速發(fā)展。

1960年以來(lái)，相繼研制成功的調(diào)制規(guī)、抑制規(guī)、彎注規(guī)、分離規(guī)和磁控式電離規(guī)等已能實(shí)現(xiàn)10-11帕左右的超高真空測(cè)量。

此后，真空測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域在新原理方面沒(méi)有出現(xiàn)明顯突破性的進(jìn)展，1973年提出的管型倍增器真空計(jì)，也只是預(yù)計(jì)可測(cè)至10-14Pa真空，較多的是在原有基本清晰的原理思路上的改進(jìn)與補(bǔ)充，處于一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的時(shí)期。但技術(shù)的發(fā)展不會(huì)停止，相信新成果仍將會(huì)不斷涌現(xiàn)，將真空科學(xué)技術(shù)推向新的高峰。

干式真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空泵，可長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，并且針對(duì)國(guó)內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對(duì)性優(yōu)化，更適應(yīng)國(guó)內(nèi)的各類工況環(huán)境，實(shí)際應(yīng)用實(shí)現(xiàn)更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風(fēng)洞實(shí)驗(yàn)和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。