潔凈室氣流組織考慮原則

當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí)，選用亂流流型。

減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

為了防止灰塵的二次飛揚(yáng)，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。

工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。

工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔，為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。

潔凈工作臺(tái)不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時(shí)，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。

潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí)，宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)，以減少對(duì)室內(nèi)的污染。

潔凈車間，亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。

玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。

人是污染源的發(fā)源地：靜坐時(shí)，人體每分鐘散發(fā)10萬個(gè)粒子(?！?.5μm);

每天脫落6～13克表皮細(xì)胞，一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。

半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來源，經(jīng)測(cè)試，作業(yè)人員占80% 。