空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng):是潔凈實驗室-生物實驗室運行的關(guān)鍵。由于潔凈實驗室-生物實驗室內(nèi)操作對象是危險性的微生物,對人體、動植物或環(huán)境具有危害,必須通過采用合理的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng),保持潔凈實驗室-生物實驗室的相對負壓環(huán)境無論何時都不被破壞,以保證實驗室內(nèi)危險性微生物不能向外部環(huán)境中擴散。
培訓(xùn)方案:由于潔凈實驗室-生物實驗室中的實驗人員通常都是醫(yī)學(xué)專家,對于實驗室整個系統(tǒng)原理不一定十分了解,通過培訓(xùn)方案,讓所有實驗室工作人員了解整個系統(tǒng)的特點,掌握其運行規(guī)律,可以及時發(fā)現(xiàn)隱患,并及時做出相應(yīng)的應(yīng)急處置,控制住事態(tài)的進一步惡化,對減輕后續(xù)維修工作的難度是有很大幫助的。
以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)倪^濾器向室內(nèi)送風(fēng)。
相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。