潔凈室的流型基本上是上述三種類型，但是實際應用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實現(xiàn)高級別的潔凈室。例如，在潔凈室中設水平單向流的“隧道”（一側(cè)敞開），潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型，從而實現(xiàn)“隧道”部分達到5級以上潔凈度，工作臺就設在“隧道內(nèi)”。

工作區(qū)的氣流應均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴散之前便流向回風口。

工作設備布置時要留有一定的間隔，為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。

潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當布置在亂流潔凈室時，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。

潔凈室內(nèi)有通風柜時，宜置于工作區(qū)氣流的下風側(cè)，以減少對室內(nèi)的污染。

潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗潔凈室質(zhì)量的核心標準，該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準，一些知名凈化工程公司，在通行標準之外，還設有自身執(zhí)行的高于國際化通行標準的凈化指標，凈化能力和環(huán)境適應力遠超國際品牌。

玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。

人是污染源的發(fā)源地：靜坐時，人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(粒≥0.5μm);

每天脫落6～13克表皮細胞，一年脫落人體細胞約3.5公斤。

半導體潔凈室內(nèi)微污染來源，經(jīng)測試，作業(yè)人員占80% 。