就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施 [1] ：

對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。

潔凈室氣流組織考慮原則

當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。

減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風口。

一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室，尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言，其負荷特點是：由于排風量大造成新風量大，故新風處理所需冷量消耗大；送風量大，輸送動力消耗大，風機管道溫升高；生產(chǎn)設備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。

潔凈技術，即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是：對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中，對其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進行控制的技術。