矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風(fēng),采用扇形過(guò)濾器,也可以用普通過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口,房間的高長(zhǎng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)(100級(jí))潔凈度。
潔凈室氣流組織考慮原則
當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí),選用層流流型;當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí),選用亂流流型。
減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
為了防止灰塵的二次飛揚(yáng),氣流速度不能過(guò)大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。
潔凈車間,亦稱潔凈室、無(wú)塵車間、無(wú)塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制,沒(méi)有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時(shí),人體每分鐘散發(fā)10萬(wàn)個(gè)粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細(xì)胞,一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。
半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來(lái)源,經(jīng)測(cè)試,作業(yè)人員占80% 。