控制系統(tǒng):是整個(gè)潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行的神經(jīng)中樞。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)對(duì)象是危險(xiǎn)性的微生物,出于嚴(yán)格控制污染的原則,它要求以少的維護(hù)人員,運(yùn)用化的管理維護(hù)手段,來實(shí)時(shí)監(jiān)控每一個(gè)實(shí)驗(yàn)室中設(shè)備所處的物理環(huán)境,保證實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行過程中始終處于相對(duì)負(fù)壓環(huán)境,防止危險(xiǎn)性微生物外泄。
高性:統(tǒng)一協(xié)調(diào)了各個(gè)設(shè)備供應(yīng)商、工程承包商和服務(wù)提供商,把與整個(gè)潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室建設(shè)過程相關(guān)聯(lián)的多個(gè)環(huán)節(jié)、合作伙伴統(tǒng)一協(xié)調(diào)起來。整個(gè)潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室建設(shè)過程都是在公司的統(tǒng)籌安排下進(jìn)行,統(tǒng)一了各個(gè)方面的意見,消除了因意見不統(tǒng)一造成設(shè)計(jì)、施工過程中各自為證,導(dǎo)致建設(shè)過程出現(xiàn)隱患、返工等的弊病,保證了潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的嚴(yán)密性,使其能長(zhǎng)期運(yùn)行。
但在一個(gè)操作間,機(jī)器以及機(jī)器周圍走動(dòng)的人員,會(huì)對(duì)氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團(tuán)。人員的活動(dòng)也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。
相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。