矢量潔凈室：在房間的側上角送風，采用扇形過濾器，也可以用普通過濾器配扇形送風口，在另一側的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。

就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施 [1] ：

對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。

在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起，把潔凈度要求高的工序設置在上風側，把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外，若必須放在潔凈區(qū)內時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。

潔凈技術，即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是：對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中，對其所處環(huán)境內玷污物(影響對象的加工、處置、等質量、合格率或成功率的物質)進行控制的技術。