空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)必須可靠運(yùn)行,采用先進(jìn)技術(shù),合理利用和節(jié)約能源與資源,保證環(huán)境的質(zhì)量和,為實(shí)驗(yàn)人員提供所需要的溫度和濕度,保障生物實(shí)驗(yàn)在的條件下進(jìn)行,以確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果得準(zhǔn)確性。同時(shí)它還必須控制實(shí)驗(yàn)室的潔凈度,對新風(fēng)進(jìn)行過濾,使實(shí)驗(yàn)室達(dá)到一定的凈化要求。其中排風(fēng)系統(tǒng)是重點(diǎn),對于保證實(shí)驗(yàn)室相對負(fù)壓環(huán)境和有效過濾室內(nèi)污染排風(fēng)起著重要的作用。
模塊化:為潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室用戶設(shè)計(jì)方案時(shí),采用工業(yè)化、標(biāo)準(zhǔn)化的運(yùn)作理念,將多年的凈化工程項(xiàng)目進(jìn)行歸納整理,就是將復(fù)雜的潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目進(jìn)行模塊化,便于恰當(dāng)?shù)母鶕?jù)用戶的不同情況和特點(diǎn)以及需求,進(jìn)行了更優(yōu)化的組合。在提供的方案中采用因地制宜的做法,把建筑裝修、配電、空調(diào)、消防全都做成標(biāo)準(zhǔn)化的方案,制定具有針對性的方案設(shè)計(jì)。
單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。
相對濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。