凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。
單向流潔凈室:單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗潔凈室質(zhì)量的核心標準,該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準,一些知名凈化工程公司,在通行標準之外,還設有自身執(zhí)行的高于國際化通行標準的凈化指標,凈化能力和環(huán)境適應力遠超國際品牌。
潔凈技術(shù),即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是:對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中,對其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進行控制的技術(shù)。