無菌試驗室-潔凈實驗室-生物實驗室整體解決方案,根據(jù)實驗室的要求和使用要求,要不同于一般的實驗室工程或凈化工程。從本公司自身特點來看,憑借對用戶需求的深刻理解,精湛的咨詢顧問和工程設(shè)計施工方面的專家隊伍,先進(jìn)的規(guī)劃運營理念和與國際品牌供應(yīng)商的良好合作關(guān)系,形成了一套完善的潔凈實驗室-生物實驗室解決方案。它具有高性、專業(yè)化、整體性、模塊化、標(biāo)準(zhǔn)化等特點
氣流有如一個空氣活塞,向下流經(jīng)室內(nèi),帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環(huán)至過濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉,而紊流通風(fēng)系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間,單向流用比前面提到的低得多的風(fēng)速,就可以很快將污染物清除。
但在一個操作間,機(jī)器以及機(jī)器周圍走動的人員,會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團(tuán)。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。